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真空系统集成

氟油平台
◆ HF-10氟油/氦气加压平台是专门针对和半导体器件、集成电路、电子产◆ 品等电子元器件进行粗、细检的一套检漏装置。
与氟油加热仪配合使用,可以进行电子元器件的粗检过程。
◆ 与氦质谱检漏仪配合使用,可以进行电子元器件的整个细检过程。

性能指标

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